Учебната програма на курса предвижда запознаване на студентите, които се подготвят да придобият образователно-квалификационна степен Магистър по „Микротехнологии и наноинженеринг“, с основните технологични процеси и процедури, необходими за разработването, изследването, изготвянето и производството на съвременни микро- и наноелементи и системи.
След изясняване на основните понятия, принципи, връзки и основни параметри и тенденции, свързани с областта на микроелектронните и наноелектронните елементи, както и с основните микросистемни и наносистемни прибори, студентите ще бъдат запознати с Полупроводниковите и Хибридни Технологии като цяло, както и с техните основни групови технологични процеси като Фотолитография и Изгитвяне на фотомаски, Методи за отлагане на слоеве във вакуум, Термично окисление на Силиций, Дифузия, Епитаксия и Йонна имплантация. Индивидуалните технологични монтажни процеси като Сондов контрол и маркиране, Скрайбиране, Монтаж на чиповете в корпус, Опроводяване на структурите и Херметизиране, ще бъдат представени и обсъдени в техните съвременни варианти и решения. Ще бъдат засегнати специфични процеси като обемна (анизотропно ецване на силиций), повърхността (LIGA) и тримерна технология (Бош процес). Основно внимание ще бъде обърнато и на специфичните микро- и наносистемни елементи като микрогреди, микроконзоли, микромостове и микромембрани, както и на тяхното използване в различни микроелектромеханични прибори, както и в микрофлуидни елементи – микропомпи, микроканали, микроклапани, сензори за състав на флуиди – „електронен нос” и „електронен език“, сензори за налягане - микрофони, акселерометри, технология на гъвкавите микро- и наноелектронни системи.
Ще бъдат представени множество примери за тяхното приложение в съвременни микроелектромеханични и наноелектромеханични лементи и системи (МЕМС и НЕМС).
В края на тяхното обучение, студентите ще бъдат запознати с основните технологични процедури и процеси и ще могат творчески да решават проблеми, свързани с изготвянето на съвременни микро- и наноелементи и системи.
- Преподавател: доц. д-р Мария Александрова
- Преподавател: РАДЕ ТОМОВ